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雖然 HBM(高頻寬記憶體)也經常被稱為 3D 記憶體 ,這項成果證明 3D DRAM 在材料層級具備可行性 。未來勢必要藉由「垂直堆疊」來提升密度,視為推動 3D DRAM 的重要突破。
比利時 imec(校際微電子中心) 與根特大學(Ghent University) 研究團隊宣布,在 300 毫米矽晶圓上成功外延生長 120 層 Si/SiGe 疊層結構,
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